煙臺新風系統凈化工程的溫濕度控制，主要的兩塊是新風空調箱和干盤管。
新風空調箱除了要保證外界大氣經過其中的初、中和高效過濾網，把空氣中的粉塵顆粒過濾掉外，還要根據潔凈室里面的溫濕度情況調整出風口的溫濕度，以保證送入的新風在規定的溫濕度范圍內。而干盤管是根據潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測量的值來調整干盤管冷水閥的開度，進而調節回風和送風混合后的溫濕度，以保證滿足半導體工藝的溫濕度需求。
由于每種工藝制程設備的發熱量大不相同，導致凈化工程內的機臺發熱量分布不均勻。例如爐管機臺的發熱量相較于其他設備大得多（基本在3－5倍之間），因此必須在潔凈室內用干盤管DCC帶走這些熱量。通常要求同一制程的氣流經過同一組DCC，在建筑已經確定的情況下，制程的分布要與回風道垂直。如果條件允許，要好是將不同制程的區域隔開，這樣既可避免金屬粒子污染，又能提高凈化工程溫濕度控制的穩定性。
